AMO

AMO：高性能紫外線納米壓印抗蝕劑

UV納米壓印是一種機械成型技術。由石英或具有 3D 浮雕的柔性彈性體(ti) 製成的模板與(yu) 基板頂部旋塗的 UV 固化抗蝕劑緊密接觸。由於(yu) 壓印抗蝕劑的低粘度，在室溫下施加低壓印壓力會(hui) 在幾秒鍾內(nei) 填充特征。抗蝕劑通過模板背麵的紫外光硬化。最後，分離基板和模板。複製的抗蝕劑浮雕可以進一步通過RIE工藝轉移到基板中或用作功能元件。

基於(yu) 在納米壓印領域的廣泛長期經驗，AMO 開發了一種可商用的 UV 固化抗蝕劑 (AMONIL®) 和匹配的粘合促進劑 (AMOPRIME)。

AMO 的 NANOIMPRINT RESIST AMONIL®：

AMO GmbH 在一係列項目中從(cong) 事 UV-Nanoimprint 光刻技術的研究和開發超過 15 年。基於(yu) 這些豐(feng) 富的經驗，我們(men) 能夠設計 AMO並定期對其進行改進。該抗蝕劑將出色的塗層和壓印性能與(yu) 出色的圖案保真度和合理的等離子體(ti) 穩定性相結合。

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